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PRODUCT SERVICES
產(chǎn)品服務(wù)
Quartz Mask
石英掩模版
石英掩模版(Quartz Mask)以高純石英玻璃為基材,石英玻璃具有高透過率、高平坦度、低膨脹系數(shù)等優(yōu)點(diǎn),同時(shí)成本較高,通常應(yīng)用于高精度掩模版產(chǎn)品。石英掩模版主要在半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)使用,包括模擬IC、各種分立器件、MEMS以及平板顯示等。

公司可提供多種尺寸和規(guī)格的光罩產(chǎn)品,制作精度覆蓋130nm、180nm、250nm、350nm、500nm及以上芯片工藝節(jié)點(diǎn),具體如下表所示:
ITEM Rank S Y A B C D E F G H I
Design Rule (μm) >5 2-5 1-2 1 0.8 0.5 0.35 0.25 0.18 0.15 0.13
CD Tolerance (±μm) ±0.5 ±0.3 ±0.2 ±0.15 ±0.1 ±0.075 ±0.05 ±0.04 ±0.03 ±0.025 ±0.02
CD Range (μm) ≤0.5 ≤0.3 ≤0.2 ≤0.15 ≤0.1 ≤0.07 ≤0.05 ≤0.04 ≤0.035 ≤0.03 ≤0.025
CD mean to target (μm) ±0.5 ±0.3 ±0.2 ±0.15 ±0.1 ±0.07 ±0.04 ±0.03 ≤0.03 ±0.02 ±0.02
Registration & Overlay Based on the 1st layer(μm) ±0.5 ±0.3 ±0.2 ±0.15 ±0.12 ±0.10 ±0.07 ±0.05 ≤0.04 ±0.03 ±0.02
Defect Defect size(μm) <4 <2 <1.0 <1.0 <0.75 <0.5 <0.4 <0.3 <0.3 <0.25 <0.20
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